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真空干燥箱的工作流程

點(diǎn)擊次數(shù):2765 更新時(shí)間:2018-09-20
    真空干燥箱的工作流程
    真空干燥箱主要適用于IC、BGA、精密電子組件、特殊化學(xué)藥品、精密儀器 、中藥材、古董名畫(huà)等做防潮儲(chǔ)存用。其防潮原理是利用高分子物料理吸濕材質(zhì)將濕氣帶出,其飽和后,主機(jī)板自動(dòng)加熱,再次循環(huán),此產(chǎn)品是常年插電使用,且功率較小,無(wú)需更換耗材,是各類物料做防潮存放的好幫手。
   真空干燥箱簡(jiǎn)稱干燥箱,分為250度、300度、400度和500度配置,主要用于各種產(chǎn)品或材料及電子、電工、化工等在恒溫環(huán)境下做干燥和各種恒溫適應(yīng)性試驗(yàn)。客戶要根據(jù)自己不同的需求選配不同的溫度配置。
   真空干燥箱的一般工作流程:
   先確定真空干燥箱工作溫度。典型的預(yù)處理程序?yàn)椋捍蜷_(kāi)真空泵抽真空,待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后,開(kāi)始充人氮?dú)猓涞竭_(dá)到某低真空度后,再次進(jìn)行抽真空、充入氮?dú)獾倪^(guò)程,到達(dá)設(shè)定的充入氮?dú)獯螖?shù)后,開(kāi)始保持一段時(shí)間,使硅片充分受熱,減少硅片表面的水分。然后再次開(kāi)始抽真空,充入HMDS氣體,在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后,停止充入藥液,進(jìn)入保持階段,使硅片充分反應(yīng)。
    當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后,再次開(kāi)始抽真空。充入氮?dú)?,完成整個(gè)作業(yè)過(guò)程,整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻(*基硅烷基較大)阻止其進(jìn)一步反應(yīng),尾氣排放等:多余的蒸汽(尾氣)將由真空泵抽出,排放到廢氣收集管道。在無(wú)廢氣收集管道時(shí)需做專門(mén)處理。真空干燥箱是專業(yè)為干燥熱敏性、易分解和易氧化物質(zhì)而設(shè)計(jì)的,工作時(shí)可使工作室內(nèi)保持一定的真空度,并能夠向真空干燥箱的內(nèi)部充入惰性氣體,特別是一些成分復(fù)雜的物品也能進(jìn)行快速干燥,溫控儀采用韓國(guó)進(jìn)口HM品牌的智能型數(shù)字溫度調(diào)節(jié)儀進(jìn)行溫度的設(shè)定、顯示與控制。
  “相對(duì)真空度”是指被測(cè)對(duì)象的壓力與測(cè)量地點(diǎn)大氣壓的差值。真空干燥箱在沒(méi)有真空的狀態(tài)下(即常壓時(shí)),表的初始值為0。當(dāng)測(cè)量真空時(shí),它的值介于0到-101.325KPa(一般用負(fù)數(shù)表示)之間。
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